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  • DZS-500型电子蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统
    [综合管理科]物理与电子科学学院
    2018年05月01日
     


    设施名称:dzs-500型电子蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统

    设施编号:1426066(出厂编号)

    存放地点:重点实验楼  南106   低维结构物理实验室(一)

    采用方向:公用于制备导电薄膜、半导体薄膜、铁电薄膜、光电薄膜等等薄膜材料。

    设施概述:dzs-500型电子蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统是一种利用电子(雷达)加热使膜材汽化蒸发后凝结在衬底(基片)上成膜的加热镀膜方法,该方法结构简单、公用,蒸发速度在0.01?/s~10nm/s范围内自由设定,极限真空为1×10-4pa,并且可进行原位退火和衬底加热,具有闭环膜厚控制系统,可以实现自动控制膜厚和多层薄膜生长,即可用于新材料、新工艺薄膜研究工作需要,也可用于小批量和规范薄膜材料制备工作。




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